Η επέκταση της παραγωγής καρβιδίου πυριτίου οδηγεί την ταχεία ανάπτυξη ειδικού εξοπλισμού
Jul 28,2022
Οι συσκευές ισχύος καρβιδίου πυριτίου επιταχύνουν τη διείσδυση σε αυτοκίνητα και άλλα πεδία εφαρμογών, παρουσιάζοντας τεράστιο χώρο στην αγορά και προσελκύοντας διάφορους κατασκευαστές για την αύξηση της επέκτασης της παραγωγής. Μετά την πρώτη γραμμή των 8 ιντσών του Wolfspeed, η Bosch Group, η Rohm, η Infineon, η Toshiba πρόσφατα η επέκταση και η νέα κατασκευή γραμμών παραγωγής καρβιδίου πυριτίου έχουν επίσης ανακοινωθεί.
Σε σύγκριση με τις παραδοσιακές γραμμές παραγωγής πλακιδίων πυριτίου, η διαδικασία κατασκευής καρβιδίου πυριτίου φέρνει διαφορετικές απαιτήσεις στον εξοπλισμό.
Η Giuseppe Arena, διευθυντής του έργου της Automotive Power της Stmicroelectronics, δήλωσε ότι λόγω των μοναδικών φυσικών και χημικών ιδιοτήτων των υλικών ευρείας ζώνης, η διαδικασία κατασκευής καρβιδίου πυριτίου είναι αρκετά διαφορετική από τις παραδοσιακές συσκευές ισχύος που βασίζονται σε πυρίτιο στην επιταξιακή ανάπτυξη, εμφύτευση ιόντων, και ανόπτηση υψηλής θερμοκρασίας. Οι ενότητες όπως οι ειδικοί θαλάμοι έχουν σχεδιαστεί για να ελέγχουν τα ελαττώματα και να βελτιώσουν την παραγωγικότητα. Απαιτούνται επίσης ειδικά εργαλεία για τη χάραξη, την αραίωση και άλλους συνδέσμους.
Καθώς η διαδικασία και ο εξοπλισμός ωριμάζουν, ορισμένες εταιρείες IDM σκέφτονται να μετασχηματίζουν την ξεπερασμένη γραμμή παραγωγής πλακιδίων πυριτίου 6 ιντσών σε μια γραμμή παραγωγής καρβιδίου πυριτίου. Οι εμπειρογνώμονες της βιομηχανίας εκτιμούν ότι χρειάζεται μόνο 20 εκατομμύρια δολάρια επενδύσεων για να προσαρμόσουν τη διαδικασία και να αγοράσουν ένα μικρό ποσό ειδικού εξοπλισμού. Αυτό το είδος μετασχηματισμού γραμμής παραγωγής μπορεί να ολοκληρωθεί.
Επί του παρόντος, ο διαχωρισμός της εργασίας και της εξειδίκευσης έχει αρχίσει να εμφανίζεται στον τομέα αυτό και εταιρείες όπως το X-FAB έχουν ήδη βάλει το πόδι στην επιχείρηση χυτηρίου Carbide Silicon.
Το CLAS-SIC, που βρίσκεται στη Σκωτία, το Ηνωμένο Βασίλειο, διαθέτει γραμμή παραγωγής χυτηρίου καρβιδίου 6 ιντσών. Το 10-15% της γραμμής παραγωγής είναι αφιερωμένο εξοπλισμό καρβιδίου πυριτίου και το μεγαλύτερο μέρος του υπόλοιπου εξοπλισμού ανακαινίζεται από γραμμές παραγωγής πλακιδίων πυριτίου. Η εταιρεία είναι υπεύθυνη για την Rae Hyndman, η βιομηχανία Carbide Silicon αντιμετωπίζει επίσης συμφόρηση παράδοσης κατά την αγορά εξοπλισμού μεταχειρισμένου.
Η αγορά καρβιδίου πυριτίου είναι πολλά υποσχόμενη και προσελκύει επίσης κατασκευαστές εξοπλισμού για να αυξήσει τις επενδύσεις στον τομέα αυτό. Ο David Haynes, τεχνικός εμπειρογνώμονας στο Fanlin, δήλωσε ότι η κοινή πρόκληση που αντιμετωπίζει ο εξοπλισμός που αναπτύχθηκε για διαδικασίες πλακιδίων πυριτίου κατά την επεξεργασία υποστρωμάτων καρβιδίου πυριτίου είναι το τελευταίο. Σχεδόν διαφανές στις ορατές και εγγύς υπέρυθρες περιοχές, η μονάδα ανίχνευσης πρέπει να βελτιστοποιηθεί.
Ένας άλλος γίγαντας εξοπλισμού, τα εφαρμοσμένα υλικά, έχει επίσης ξεκινήσει έναν αριθμό ειδικού εξοπλισμού καρβιδίου πυριτίου. Ο εξοπλισμός CMP που έχει σχεδιαστεί για τις ειδικές φυσικές και χημικές ιδιότητες του καρβιδίου πυριτίου λέγεται ότι μειώνει σημαντικά τα επιφανειακά ελαττώματα των πλακιδίων καρβιδίου πυριτίου, σύμφωνα με την Sally Ann Henry, διευθυντή ανάπτυξης επιχειρήσεων της εταιρείας Shengmei. Είπε ότι η τρέχουσα αγορά ειδικού εξοπλισμού Silicon Carbide εξακολουθεί να βρίσκεται στο αρχικό στάδιο της ανάπτυξης και τα περισσότερα IDMs εξακολουθούν να λειτουργούν γραμμές παραγωγής 6 ιντσών. (εργαλεία γέφυρας) θα είναι πολύ ελκυστικό. Αυτός ο εξοπλισμός μπορεί πρώτα να εισαχθεί στη γραμμή παραγωγής 6 ιντσών. Επειδή είναι εξοπλισμένο με την πιο προηγμένη μονάδα ανίχνευσης, μπορεί γρήγορα να προσαρμοστεί στη μελλοντική γραμμή παραγωγής 8 ιντσών μετά την αντικατάσταση των μονάδων φόρτωσης, φόρτωσης και εκφόρτωσης. Σύρμα.
Σε σύγκριση με τις παραδοσιακές γραμμές παραγωγής πλακιδίων πυριτίου, η διαδικασία κατασκευής καρβιδίου πυριτίου φέρνει διαφορετικές απαιτήσεις στον εξοπλισμό.
Η Giuseppe Arena, διευθυντής του έργου της Automotive Power της Stmicroelectronics, δήλωσε ότι λόγω των μοναδικών φυσικών και χημικών ιδιοτήτων των υλικών ευρείας ζώνης, η διαδικασία κατασκευής καρβιδίου πυριτίου είναι αρκετά διαφορετική από τις παραδοσιακές συσκευές ισχύος που βασίζονται σε πυρίτιο στην επιταξιακή ανάπτυξη, εμφύτευση ιόντων, και ανόπτηση υψηλής θερμοκρασίας. Οι ενότητες όπως οι ειδικοί θαλάμοι έχουν σχεδιαστεί για να ελέγχουν τα ελαττώματα και να βελτιώσουν την παραγωγικότητα. Απαιτούνται επίσης ειδικά εργαλεία για τη χάραξη, την αραίωση και άλλους συνδέσμους.
Καθώς η διαδικασία και ο εξοπλισμός ωριμάζουν, ορισμένες εταιρείες IDM σκέφτονται να μετασχηματίζουν την ξεπερασμένη γραμμή παραγωγής πλακιδίων πυριτίου 6 ιντσών σε μια γραμμή παραγωγής καρβιδίου πυριτίου. Οι εμπειρογνώμονες της βιομηχανίας εκτιμούν ότι χρειάζεται μόνο 20 εκατομμύρια δολάρια επενδύσεων για να προσαρμόσουν τη διαδικασία και να αγοράσουν ένα μικρό ποσό ειδικού εξοπλισμού. Αυτό το είδος μετασχηματισμού γραμμής παραγωγής μπορεί να ολοκληρωθεί.
Επί του παρόντος, ο διαχωρισμός της εργασίας και της εξειδίκευσης έχει αρχίσει να εμφανίζεται στον τομέα αυτό και εταιρείες όπως το X-FAB έχουν ήδη βάλει το πόδι στην επιχείρηση χυτηρίου Carbide Silicon.
Το CLAS-SIC, που βρίσκεται στη Σκωτία, το Ηνωμένο Βασίλειο, διαθέτει γραμμή παραγωγής χυτηρίου καρβιδίου 6 ιντσών. Το 10-15% της γραμμής παραγωγής είναι αφιερωμένο εξοπλισμό καρβιδίου πυριτίου και το μεγαλύτερο μέρος του υπόλοιπου εξοπλισμού ανακαινίζεται από γραμμές παραγωγής πλακιδίων πυριτίου. Η εταιρεία είναι υπεύθυνη για την Rae Hyndman, η βιομηχανία Carbide Silicon αντιμετωπίζει επίσης συμφόρηση παράδοσης κατά την αγορά εξοπλισμού μεταχειρισμένου.
Η αγορά καρβιδίου πυριτίου είναι πολλά υποσχόμενη και προσελκύει επίσης κατασκευαστές εξοπλισμού για να αυξήσει τις επενδύσεις στον τομέα αυτό. Ο David Haynes, τεχνικός εμπειρογνώμονας στο Fanlin, δήλωσε ότι η κοινή πρόκληση που αντιμετωπίζει ο εξοπλισμός που αναπτύχθηκε για διαδικασίες πλακιδίων πυριτίου κατά την επεξεργασία υποστρωμάτων καρβιδίου πυριτίου είναι το τελευταίο. Σχεδόν διαφανές στις ορατές και εγγύς υπέρυθρες περιοχές, η μονάδα ανίχνευσης πρέπει να βελτιστοποιηθεί.
Ένας άλλος γίγαντας εξοπλισμού, τα εφαρμοσμένα υλικά, έχει επίσης ξεκινήσει έναν αριθμό ειδικού εξοπλισμού καρβιδίου πυριτίου. Ο εξοπλισμός CMP που έχει σχεδιαστεί για τις ειδικές φυσικές και χημικές ιδιότητες του καρβιδίου πυριτίου λέγεται ότι μειώνει σημαντικά τα επιφανειακά ελαττώματα των πλακιδίων καρβιδίου πυριτίου, σύμφωνα με την Sally Ann Henry, διευθυντή ανάπτυξης επιχειρήσεων της εταιρείας Shengmei. Είπε ότι η τρέχουσα αγορά ειδικού εξοπλισμού Silicon Carbide εξακολουθεί να βρίσκεται στο αρχικό στάδιο της ανάπτυξης και τα περισσότερα IDMs εξακολουθούν να λειτουργούν γραμμές παραγωγής 6 ιντσών. (εργαλεία γέφυρας) θα είναι πολύ ελκυστικό. Αυτός ο εξοπλισμός μπορεί πρώτα να εισαχθεί στη γραμμή παραγωγής 6 ιντσών. Επειδή είναι εξοπλισμένο με την πιο προηγμένη μονάδα ανίχνευσης, μπορεί γρήγορα να προσαρμοστεί στη μελλοντική γραμμή παραγωγής 8 ιντσών μετά την αντικατάσταση των μονάδων φόρτωσης, φόρτωσης και εκφόρτωσης. Σύρμα.